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产品介绍

电子级过氧化氢 产品标准:Q/BOH002-2012

文字:[大][中][小] 发布时间:2014-10-27  浏览次数:1186

超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。

序号

项目

指标

HHP-

HHP-

HHP-

HHP-

1

含量(%

30-32

30-32

30-32

30-32

2

氯化物(Cl),ppb

2000

200

200

30

3

硝酸盐(NO3),ppb

-

400

400

30

4

硫酸盐(SO4),ppb

5000

200

200

30

5

总有机碳(TOC),ppb,≤

20

20

20

-

6

游离酸(以H2SO4计), ≤

0.6

0.6

0.6

-

7

钠(Na),ppb,≤

500

10

1

0.1

8

钾(K),ppb,≤

500

10

1

0.1

9

锡(Sn),ppb,≤

500

10

1

0.1

10

铝(Al),ppb,≤

500

10

1

0.1

11

钛(Ti),ppb,≤

200

10

1

0.1

12

金(Au),ppb,≤

200

10

1

-

13

铅(Pb),ppb,≤

200

10

1

0.1

14

钙(Ca),ppb,≤

200

10

1

0.1

15

铁(Fe),ppb,≤

100

10

1

0.1

16

镁(Mg),ppb,≤

100

10

1

0.1

17

锌(Zn),ppb,≤

100

10

1

0.1

18

硼(B),ppb,≤

100

10

1

0.1

19

铬(Cr),ppb,≤

50

10

1

0.1

20

铜(Cu),ppb,≤

50

10

1

0.1

21

锰(Mn),ppb,≤

50

10

1

0.1

22

镍(Ni),ppb,≤

50

10

1

0.1

23

镉(Cd),ppb,≤

-

10

1

0.1

24

锂(Li),ppb,≤

-

10

1

0.1

25

锑(Sb),ppb,≤

-

5

1

0.1

26

砷(As),ppb,≤

-

5

1

0.1

27

钡(Ba),ppb,≤

-

10

-

0.1

28

钴(Co),ppb,≤

-

10

1

-

29

钼(Mo),ppb,≤

-

10

1

-

30

银(Ag),ppb,≤

-

10

1

-

31

锶(Sr),ppb,≤

-

10

1

-

32

铌(Nb),ppb,≤

-

10

-

-

33

镓(Ga),ppb,≤

-

10

-

-

34

锗(Ge),ppb,≤

-

10

-

-

35

铍(Be),ppb,≤

-

10

-

-

36

铋(Bi),ppb,≤

-

10

-

-

37

钽(Ta),ppb,≤

-

10

-

-

38

铊(Tl),ppb,≤

-

10

-

-

39

锆(Zr),ppb,≤

-

10

-

-